技术编号：5817967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高纯二乙基锌的安全输送装置，尤其涉及一种用于安全输送 薄膜太阳能玻璃基板制备TCO膜所需的高纯二乙基锌源的输送装置，属于输送 装置。 背景技术2008年，欧洲OERIKON公司研制出了用于薄膜太阳能电池制造的TCO1200 系列的设备，用于在非晶硅玻璃基板上面通过气相沉积的方式生成氧化锌透明导 电薄膜，以增加太阳能电池的导电率和透光率。而制备TCO薄膜用到的一种基 本原料就是二乙基锌。二乙基锌是一种特殊的液态化学品，具有自燃性和毒性等 危害特...
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