技术编号：5819690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于贮存和分配流体的阀组件，更具体的，本发明涉及一种用于贮存和分配加压气体的多重调整器真空传送阀组件，其防止加压气体从容器无控制流出。背景技术 提供一种安全、有效的方法，在低于大气压的条件下操作有毒、易燃、有腐蚀性的气体是工业的目标。尤其，这些气体包括掺杂剂气体。一般，掺杂剂气体贮存在压缩气体瓶里，根据特殊气体的特性，压力等于在特定压力下或在比压下的单个气体的蒸汽压力。这些气体作为用于生产半导体器件的掺杂剂原料的来源。这些掺杂剂气体在一种称为...
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