技术编号：5820649
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学相位延迟精密测量方法及其系统，特别是涉及一种适用于测量波片 等光学延迟器件的光学相位延迟精密测量方法及其系统，属于光学测量。背景技术由于工业生成技术的不断提高，人们对器件的精度提出了越来越高的要求，光学仪器以 其高精度的特点得到了广泛应用，光学器件的精密测量得到了越来越多的关注，在光学器件 相位延迟测量方面，目前现有的精密测量系统采用的技术有波片相位延迟的分束差动自动测 量(郝殿中，宋连科，波片相位延迟的分束差动自动测量，光电子.激光，1...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。