技术编号:5820675
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统(MEMS)中的惯性传感器领域,特别涉及一种差动电容式微 机械加速度计,可广泛用于汽车电子、航空航天、武器装备的运动状态测量与控制。背景技术对物体运动状态的测量和控制在民用产品和国防产品领域有着广泛的应用。加速度计 主要用于测量运动物体相对惯性空间的运动参数,传统的加速度计受体积、重量和成本等 因素的限制,难以在民用领域推广应用。以集成电路(IC)工艺和精密机械加工工艺为基 础制作的微机械加速度计具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高等突...
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