技术编号：5820859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体测试装置，尤其是一种自动探针台的Z向运动部件。 背景技术自动探针台为半导体测试专用设备，与测试机配合完成晶圆片的测试。z向运动部件是自动探针台的重要部件，它承载晶圆片实现上下，旋转运动，完成晶圆片的测试，它的顶针 顶出机构配合上下机械手完成芯片的上下装载，实现自动上下片的功能。一种传统的Z向运动部件的结构如图1、 2所示，其中，参照图l，包括垂直运动部分l， 旋转驱动部分2和顶针顶出部分3，垂直运动部分l包括承片台ll，承片台连接座12...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。