技术编号:5821358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种接触式测量装置,特别是关于一种具较小测量压力的接触式测量装置。 背景技术一种现有接触式测量装置,需与产品表面接触以实现精密测量,其被广泛应用于光学元 件等精密工业元件的形状测量领域。该种接触式测量装置在测量时,通常具有一个垂直于水 平面的测量压力,故当被测面为倾斜面时,该测量压力会迫使测量端子产生弯曲及压縮,从 而导致测量误差的产生。另外,测量压力过大也会使测量端子产生变形。因此,这种接触式 测量装置不适于进行高精度测量,例如对镜片的倾斜角等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。