接触式测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5821358

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本发明关于一种接触式测量装置,特别是关于一种具较小测量压力的接触式测量装置。 背景技术一种现有接触式测量装置,需与产品表面接触以实现精密测量,其被广泛应用于光学元 件等精密工业元件的形状测量领域。该种接触式测量装置在测量时,通常具有一个垂直于水 平面的测量压力,故当被测面为倾斜面时,该测量压力会迫使测量端子产生弯曲及压縮,从 而导致测量误差的产生。另外,测量压力过大也会使测量端子产生变形。因此,这种接触式 测量装置不适于进行高精度测量,例如对镜片的倾斜角等...
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