技术编号:5821507
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电精密测量,涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法及装置。背景技术测量薄膜厚度及折射率等参数的光学方法有多种,主要有椭圆偏振法、干涉法、 棱镜耦合法、光谱法等。这些方法或技术都存在各自的优点及不足之处,测量薄膜的类型和参数测量范围有一定的限制如棱镜耦合法(也称光波导法)尽管测量薄膜的折射率精度很高,但有一定的测量薄膜折射率的范围,一般小于棱镜的折射率,且对于200nm以下厚度的薄膜难以适用;干涉法的测量精度不高,光谱法需要至少两次测量、结果不稳定等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。