技术编号:5821592
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检査被检查物的电特性的检查方法,执行该检査方法的检 查装置,以及存储了用于实现所述检查方法的程序的存储介质。背景技术例如,用检査装置检查形成在半导体晶片上的IC、 LSI等电路的电特 性。检查装置具有电连接于检验器上的探针卡,该探针卡下面装有多个探 针。通过将探针与晶片上的电路的各电极接触、向电极输入电信号,来进 行电路的检査。但是,如果晶片的电极表面形成了氧化膜,就因为难以输入电信号而 不能进行合适的检查。还有,如果为了电导通将探针用力压在电极...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。