技术编号：5821773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。加i^^^传感器本发明涉胁i^l传感器，特别是涉及静电电容型加i^l传感器。技术背景作为用于检测J^^度方向的加i^L的加i^L传感器的原理之一，5^技术中存^测静电电^J^加逸变的变化的方法。作为利用该方法的加iiJL传 感器，例如，在日本专利特开平JP5-133976号公报中(第16页、图23和图24) 提出了具有M梁、惯'M量块、检测框、检测电极作为主要构成部分的加速 度传感器。该加i^l传感器具有1个检测框，该检测框具有与^N对置的面。在该 检测框...
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