技术编号:5821941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是与晶圆测试的探针适配卡有关,特别是指一种可快速拆组的垂 直探针适配卡。背景技术在晶圆制造完成后,必须再经由测试以确保其特性正确。而一般测试晶圆是 利用一探针卡,其探针卡主要是由一基板(可为PCB板或其它的转接板)与一探 针座所构成,凭借将探针座的探针与基板上的悍点接触使所述的各探针与晶圆接 触后的电气特性传导到所述的基板上,再由所述的基板传输至测试机台加以检测。但是,由于基板主要用以作为探针座上的探针与测试机台间的电气传导媒介, 因此所述的基板...
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