技术编号：5823000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型内容属于光学测量仪器，涉及一种光学非接 触测量装置，特别是一种利用白光千涉原理测量样品表面形状精细分 布的测量装置。背景技术近年来，随着精密制造技术的进步与H利用光干涉方法及其 装置检测物体表面形状特别是精密光学平面物体表面形状的技术已 得到日益广泛的应用。目前本领域已为使用者公知的光千涉测量仪主 要有单波干涉仪和多波干涉仪两种类型，但它们在用于对具有光学平面的试验物体或样品表面形状分布进行非常高精度的测量时，相应还 存在有数据采样时间较长、仪器...
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