技术编号：5824285
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及表面形貌的实时测量，特别是一种实时测量表面形 貌的正弦相位调制干涉装置。 背景技术由于半导体激光器(以下简称为LD )波长的温度稳定性得到较好 的解决，半导体激光干涉仪正在被广泛地研究开发。LD除体积小、用 电省、价格低外， 一个突出的优点是波长调制简便。这使得能提高测量 精度的光外差技术在半导体激光干涉仪中可以简单地通过直接调制LD 的注入电流来实现。通过调制注入电流，很容易实现干涉信号的相位调 制，从而实现位移、距离、面形等参数较高精度的...
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