技术编号:5825429
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型具体涉及一种气体敏感阵列传感器。技术背景气体传感器已广泛应用于环境监测、防火报警、化工、食品加工工业 领域,在各种气体传感器中,金属氧化物传感器以其结构简单、价格低廉的特点而得到关注,由于大多数金属氧化物气敏材料(Sn02、 ZnO、 Fe203 等)需要在300-400'C的温度工作,用传统技术制造的器件功耗很大,体积 也大,单个传感器只能对气体实现简单的报警。应用微电机械系统(MEMS) 力口工技术 (Kraig D. Mitzner, Ja...
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