技术编号:5827137
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种位置检测装置,具体涉及一种用于焊接装置的焊头位 置检测的检测装置。背景技术随着半导体产业的不断发展,焊接装置,特别是超声波焊接装置(例如超 声波金丝键合机)的使用越来越广泛。这些焊接装置的焊头通常包括变幅杆l以及安装在变幅杆1的前端的劈刀2。而变幅杆1通常通过转轴6等装置可转动的 安装在固定支架4上。焊接时,控制变幅杆1绕转轴6转动,而使劈刀2产生上下 位移。为了能够准确的控制劈刀2的位移量,如图1所示,现有技术是通过在变 幅杆1远离劈刀...
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