技术编号：5828140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于振动测量，特别涉及。背景技术微机电器件的检测是微机电器件生产中的重要环节，对微机电器件可动结构的振 动测量又是其中的重要组成。对于微机电结构的平面内振动，目前的测量方法仍十分有限，有外差干涉法、频闪图像法、差分多普勒法等。外差干涉法是使微机电结构反射光束与参考光束发生干涉，测量干涉条纹的变化来测量微机电结构的振动的；差分多普勒法是将两束不同入射角的光照射到微机电器件的振动结构上，测出两束反射光的多普勒效应，差分后测量出振动参数。上述两种方法都是使...
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