技术编号:5829978
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适用于像半导体集成电路那样的半导 体装置的通电试验的探针以及装有该探针的电气连接装置。背景技术为判定形成于半导体晶片的各芯片区域中的多个半导 体集成电路那样的半导体装置是否分别按产品说明书来制 作,而实施了通电试验。在这种通电试验中,通常使用称为 探针卡的电气连接装置。将探针卡装配在用于通电试验的试 验机中,设置于探针卡上的多个探针(触头)被紧压在工作台 上的被检查体上的对应的各电极上。被检查体通过该探针卡 与试验机相连接,由此可实施通电试验...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。