技术编号:5830224
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例大体上涉及传感器器件和元件。实施例还涉及压力 传感器,更具体地涉及结合了硅玻璃料结合(frit bonded)帽的使用以在 隔膜的顶侧上的腔中形成基准压力的压力传感器。背景技术压力传感器用于多种工业和商业应用,诸如汽车、液压系 统、发动机测试等等。例如,表压力传感器、真空压力传感器、差压接受的不同类型的压力传感器。根据它们的特性的特定方面,这些传 感器类型中的每一个可以用于不同的应用。例如,这类器件可以适用 于在不友好介质如腐蚀性流体和气体中进行的高...
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