惯性力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5830439

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本发明涉及航空器、汽车、机器人、船舶、车辆等移动物体的姿态控制、或者导航(navigation)装置等各种电子设备所使用的、用于检测惯性力的惯性力传感器。背景技术目前,使用惯性力传感器检测角速度或者加速度等的惯性力。当使用 现有的惯性力传感器时,为了检测角速度,而使用专用的角速度传感器, 为了检测加速度,而使用专用的加速度传感器。而且,当对与彼此正交的 X轴、Y轴、Z轴等多个检测轴相对应的角速度和加速度进行检测时,要 使用和检测轴数量相应的多个角速度传感器...
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