技术编号：5830571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种主要用于红外线传感器、空气流量计和热传感器例如 气体传感器的膜片结构元件。背景技术近年来，已经开发了通过使用半导体微加工制造热传感器的各种技术。 在一些情况下，其中相对于基板以中空状态支持配置有检测电子元件的膜 片的中空结构适用于热传感器，以保证对基板的绝热性能。具有其中以中 空状态支持膜片的结构的元件被称为膜片结构元件。通常，膜片由绝热性能优异的氧化硅膜例如Si02(二氧化硅)膜形成，并且这种膜容易通过将硅基板的表面氧化而形成。通过表面氧化...
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