技术编号:5830577
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及利用光散射原理检测气体中不希望有的单粒子的 系统,该系统在本领域中通常被称为光学粒子计数器,更具体而言, 本发明涉及这样的粒子计数器中的气流系统。背景技术众所周知,在诸如高科技电子器件和药物制造的产业中,必须防 止小粒子造成的污染。这一需要导致了光学粒子计数器的发展,在该 光学粒子计数器中流体流过光学传感器,该光学传感器检测存在的污 染粒子。检测空气或其它气体中的粒子的粒子计数器有时被称为"气 悬微粒计数器"。标准通常要求气悬微粒计数器监测流...
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