技术编号：5831903
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电传感器以及这种传感器的操作方法。 背景技术微机电传感器构成了许多机械产品的基础。例如，微机电 传感器经证明在导航领域是非常有用的，在导航领域中将它们用作为科式陀螺(Coriolis gyroscope)。以下将通过基于科式陀螺 的示例，解释微机电传感器的功能。科式陀螺具有可产生振荡的质量系统(mass system)。该质 量系统通常具有初始时为相互独立的大量的振荡模式。在科式 陀螺的操作状态下(即在微机电传感器的操作状态下)，人工激 励质...
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