技术编号：5832110
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有至少一个正交补偿结构的旋转速率传感器，该正 交补偿结构包括至少一个第一电极和一个第二电极。在此，第二电极具有 第一 电极面和第二电极面，所述第一电极面和第二电极面相互对置地设置。 第一电极设置在第一电极面与第二电极面之间的中间空间中。第一电极面 或者第二电极面在其延伸上到第一电极具有不同的间距。背景技术旋转速率传感器在运行中具有驱动振动，以便基于科里奥利力在出现 旋转运动时探测偏转。在微机械的旋转速率传感器中，由于加工误差导致 驱动运动对...
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