技术编号:5832166
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体而言涉及定位装置和位置测量装置的领域,但本发明也 可适用于其它领域。出于解释说明的目的,将在定位装置的情形下描述 本发明。背景技术图1是示意性地说明定位装置1的某些基础构件的方块图,其通常包括固定安装的框架2,可相对于该框架移位的可移位平台3或类似 物,用于使平台相对于框架移位的致动器4,用于测量平台相对于框架 的位置的测量装置5,以及基于从测量装置所接收到的测量信号来控制 致动器的控制器6。在图1中,位移被示例为在水平方向7中的线性位 移(平移...
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