技术编号：5832330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。畸变测量成像的方法和装置背景技术发明领域本发明涉及玻璃基板的畸变测量。 背景技术液晶显示器(LCD)是在常规电视、蜂窝式电话、计算机等等中使用 的薄平面显示设备。常规的LCD制造技术复杂而且需要多种集成技术。LCD 包括覆盖玻璃基板和背玻璃基板。背基板通常包括电子电路，比如必须在 覆盖基板和背基板之间对准的薄膜晶体管(TFT) 。 TFT技术已经发展到各 个TFT在LCD内的亚微米区域中实现的程度。因此，当在基板内对准TFT 时需要亚微米精确度。在制造期间...
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