用于扫描探针显微镜的探针组件的制作方法技术资料下载

技术编号:5832365

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用于扫描探针显微镜的探针组件本发明涉及扫描探针显賴镜领域,具体而言,涉及用于这样的显微镜 中的探针。本发明特别地但不是唯一地适合用于原子力显微镜。扫描探针显微术领域始于20世纪80年代早期扫描隧Ca微镜的发 展。从那时起各种探针显微镜得以;Ol,虽然它们都基于相同的基;$*作 原理单独的纳米尺度的探针在样本表面之上机械地扫描以俊jyf样本空 间的"相互作用图"。每个不同类型的扫描探针显微镜(SPM)由局部探 针的性质及其与样本表面的相互作用来表征。一些探测...
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