技术编号:5832366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于感测物质的半导体传感器装置,包括在半导 体主体的表面上形成的台面形状的半导体区,而包括待感测的物质的 流体能够沿着台面形状的半导体区流动,其中在纵向方向上观看时, 台面形状的半导体区相继地包括第一半导体子区、第二半导体子区和 第三半导体子区,该第一半导体子区包括第一半导体材料,该第二半 导体子区包括与第一半导体材料不同的第二半导体材料,该第三半导 体子区包括与第二半导体材料不同的第三半导体材料。在这里台面形 状的区域意思是该区域形成半导体...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。