技术编号:5832379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有灵敏度的微机械z传感器,该传感器具有一扭簧和一地震动的附加质量块,其中,扭簧具有弹簧宽度,地震动的附加质量 块具有一些有连接条宽度的连接条。背景技术对于具有垂直于晶片面的探测方向的电容式加速度传感器,即所谓z传感器,经常使用摇摆臂结构。摇摆臂的传感器原理基于弹簧质量块系统, 在该系统中,运动的地震动质量块分别与两个固定在基底上的反电极构成 板式电容器。该地震动质量块通过扭簧与底座相连接。如果质量块结构在 扭簧的两侧大小不同,则在作用一加速...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。