技术编号:5832408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于液晶玻璃基板等大型基板的外观检查的外观检查用投光装置。图7是表示披露于特开平5-232032号公报中的外观检查用投光装置的概略结构的图。在图7所示的外观检查用投光装置中,进行玻璃基板上的抗蚀剂等膜厚的不匀或ITO膜上的针孔等外观检查。在光源101的背部中配置椭圆旋转镜102。来自光源101的照明光由椭圆旋转镜102反射,通过红外线吸收滤光器103聚集在闸门104上。进而,照明光通过滤光器105入射到聚光用菲涅耳透镜106上,被限制为平行光束。...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。