技术编号：5832475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜的膜质评价方法，特别是涉及一种进行硅系 薄膜的膜质评价的膜质评价方法及膜质评价装置、以及薄膜设备的制 造系统。背景技术薄膜硅系设备中存在薄膜硅系太阳电池。在现有技术中，薄膜硅 系太阳电池的中，公知使用结晶质硅系膜的情况。例如，在 以被分类到薄膜硅系太阳电池中的多接合型太阳电池之一的双层型太 阳电池为例进行举例时，在该双层型太阳电池中，在顶电池和背电极之间形成被称为底电池的层。底电池具有pin构造的光电变换层，在i 层上使用结晶质硅。结晶质...
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