技术编号:5832861
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基于压力传感器单元的压力感测元件的领域,通过利用光源照亮来读出该压力感测元件的光学特性中的压力导致的变化。更进一步地,本发明涉及用于操作这 样的压力感测元件的方法以及对这样的压力感测元件的使用。背景技术根据专利文献并且根据其它技术公开物,已公知利用半导体材料中的光致发光或 吸收特性来测量诸如温度和压力之类的参数。 —些作者已提出使用用于压力感测的体(bulk)GaAs的吸收边缘的位移。然而, 他们报道了一些困难,例如热稳定和温度串扰效应。报道了在...
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