技术编号：5833277
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及图案检査装置及图案检查方法，特别涉及检查在形成于TAB (Tape Automated Bonding)带等的光透射性的基板上的布线 图案等的图案表面上有无产生凹坑(坑)的图案检査装置及图案检查 方法。背景技术以往，在布线图案的检査中，区别附着于基板表面或背面的污物 (异物)与布线图案的缺陷而防止误检测的方法或装置，例如被公开 于专利文献1或专利文献2。在上述公报中，记载了比较将来自形成 有布线图案的基板的反射照明光成像而得到的反射照明图像、和将...
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