技术编号：5833773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及位移传感测量领域，具体涉及，适用于强散射、粗糙界面位移测量。背景技术激光三角法位移传感器是一种非接触测量位移的重要传感器，广泛应用于三维轮廓、厚度、宽度、料位、及振动等测量。它将激光束投射到被测物面形成的漫反射光斑作为传 感信号，用透镜成像原理将收集到的漫反射光汇聚到焦平面的光接收器上形成像点。该接收器可为光点位置探测器(CXD)，也可用位置敏感器件PSD。运用激光三角法理论测量物体表面的位移时，在弱散射情况下，经过硬件滤波和软件滤波之后，可以通...
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