技术编号：5833908
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器，尤其是特别涉及一种惯性传感器及一种同时测量多轴平 动和转动加速度的方法。背景技术微加速度计和陀螺仪在汽车控制、游戏的输入输出、导航等领域具有广泛的应用。目 前这种传感器的研发主要集中于单轴的微陀螺仪和多轴的加速度计。当然，集成的多轴器 件由于使得单一芯片可以同时测量加速度和转动，它在各种市场领域都将有广泛应用。可 是将多轴的惯性传感器集成在单一芯片上的极高的复杂程度和成本却影响了多轴传感器集 成的发展。于是， 一种低成本，单一芯片，多轴的...
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