技术编号:5834084
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种显微镜的齐焦检査方法和齐焦检査装置。背景技术显微镜的物镜结构复杂,制作精密,由于对象差的校正,金属的物镜筒内由相隔一定 距离并被固定的透镜组组合而成。物镜有许多具体的要求,齐焦是其中重要的检査项目。 齐焦既是在镜检时,当用某一倍率的物镜观察图象清晰后,在转换另一倍率的物镜时,其 成象亦应基本清晰。齐焦性能的优劣是显微镜质量的一个重要标志。原有齐焦检查仪的原理如图6,光源1通过聚光镜2,聚焦在载物台的十字分划板3上, 此时,十字分划板作为物象经...
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