技术编号:5834456
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域,具体地说是涉及测量气体含水量的传感器领域。技术背景随着社会经济的发展,目前在各大型工业企业(如煤矿、石油、空分 等行业)的生产过程中,在某些生产环节中需要对特定的生产过程所产生的 气体(如N0、 02等)进行必要的含水量(露点值)检测,以此维护正常的 生产需要。现有技术大多采用薄膜电容式传感器测微量含水量,它的检测原 理是平面电容金/氧化铝基于对样气湿度测量时电容值的变化来反应湿度的。 传感器基于一个陶瓷基体上沉淀了一层纯铝层,纯铝作...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。