技术编号：5835266
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微电子的微放电结构，具体地说，涉及的是一 种基于微加工技术的介质阻挡微放电结构。 背景技术在人们的日常生活中，气体放电的应用十分广泛，比如放电型气体传感器以 及介质阻挡放电光源等等。但是在常温大气压下，气体需要几千甚至上万伏的电 压才能形成稳定的放电。由浙江大学的惠国华等设计的基于定向碳纳米管气体放 电结构，能将大气压下气体暗放电的工作电压降低至500V以下，使得利用碳纳 米管在气体中的击穿电压和放电电流的测量对气体定性定量检测的可行性和...
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