技术编号:5835505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明与激光干涉法测量角度的系统和测量方法有关。技术背景-激光角度干涉仪主要用于角度测量,包括回转工作台、数控机床转台等装置的 精密角度检测。传统激光角度干涉仪原理如图1。激光头1发出的激光在角度干涉仪2中分为两路,分别指向角度反射镜3中的 两个角偶棱镜,当角度反射镜从原始位置^转动到尸位置时,对应转角为",经过两个角偶棱镜的激光光程发生变化人角度反射镜的旋转角度由下式求出^为角度反射镜常数,是两个角偶棱镜锥尖的距离。激光角度干涉仪直接得到 光程差^,按照...
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