技术编号:5835670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量领域,具体涉及一种薄膜厚度和折射率的光学测 量方法及其装置,它适用于透明或半透明薄膜(能被光穿透的薄层)的厚 度和折射率的工业检测领域。背景技术薄膜厚度是衡量薄膜质量的一个关键参数,目前有多种方式可以测量薄膜厚度,比如x射线干涉方法,干涉显微镜测量,但是它们只能用来测量薄膜厚度,不能用来测折射率。而且x射线技术极少为薄膜生产线所采用,X光管寿命短,更换费用昂贵, 一般可用2-3年,而且不适用于测量由多种 元素构成的聚合物,信号源放射性强,...
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