技术编号：5835914
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜测量，特别是提供了，适用于氧化物薄膜和不易氧化金属薄膜沉积速率的测定。背景技术作为材料一种特殊形式的薄膜材料，尤其是薄膜功能材料，由于可以实现很多块体材料所没有的独特性质，所以在高科技领域的发展中具有重要的作用，例如计算机、自动化等领域对各种元器件提出越来越高的微型化、集成化等要求，都要靠薄膜材料的发展来实现。又譬如近几年，磁性薄膜材料，已在信息存储技术中得到广泛应用，它们可用来制作对微弱磁场高灵敏度的传感器和磁性随机存储器，可广泛地用于自动...
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