技术编号:5836635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微位移传感器领域,特别涉及一种高分辨率、大动态范围的, 基于PGC解调干涉扫描的微位移传感器。 背景技术传感器是测量系统中的一种前置部件,它将电子系统无法处理的外界物理 量或者化学量转换为可用输出信号,以达到测量目的或者为后期处理提供信息。 在科技发达的现代信息社会,传感器已被广泛应用于工业、农业、环保、交通 运输业以及国防等领域。在社会需求的强大推动力下,传感器正经历飞速发展时期。目前传感器技 术正向小型化、集成化发展,向数字化、智能化发展,从...
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