技术编号:5836809
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种传感器结构,具体地说是一种抗干扰能力强的大电容差分电容式新 型六梁结构加速度传感器。(二) 背景技术基于微电子机械系统(MEMS)的微机械惯性仪表以其体积小、成本低、结构简单、可 与集成电路兼容等优点得到广泛应用和迅速发展。随着加速度传感器的不断发展,人们对微加速度传感器的灵敏度和精度的要求越来越高。 利用传统的长方形质量块制作的传感器,其检测质量块的质量一般比较小,而且这种结构形 成的检测电容分布在质量块的两侧, 一般不会很大,不利于增...
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