技术编号：5837394
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基于微纳MEMS/NEMS加工技术与仿生学原理的微纳仿生矢 量水声传感器，具体是一种微纳仿生矢量水声传感器的封装结构。 背景技术科学技术发展到现今，人类所创造的技术装置日益复杂和昂贵，体积庞大 而不可靠，不能满足工业、农业、医学和军事技术越来越高的要求，这就迫使人们去寻找新的技术原理。另一方面，生物在亿万年的进化过程中，通过严峻 的自然选择，并在生物界的竞争中求得生存和发展，它们练就了一身独特的本 领，特别是在视觉和听觉器官上表现得极为发达，生物...
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