技术编号：5837692
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测试装置，特别是指用于测试集成电路硅片的一种探针测 试装置。背景技术集成电路硅片测试中，用以传输测试信号的探针卡电路板是供测试机 台的测试头点触，以接收测试机台的测试信号并传送至电路板下方近中心 处所密集设置的探针。当各探针对应点触的硅片电子组件接收测试信号 后，则透过探针卡回传所对应的电气特性至测试机台以供分析，如此在整 个硅片级测试过程中，探针卡电路板的电路传输设计对电子组件的测试结 果占有很重要的影响，尤其随着电子科技越趋高速的运作，测试过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。