扫描速度恒定的扫描探针的制作方法技术资料下载

技术编号:5838024

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本发明涉及一种用于扫描工件表面的方法和相关的装置。 背景技术已知有多种扫描方法,其中,机械探针被固定在机械的心轴上,其以直线在針可能的方向(x, y, z)揭虹件的表面。在誠每条线之后,机械心 轴3 针移至离开所完成线的新位置,并沿着平行线而重复该移动。现有技术中已知的这些方法的一个主要缺点在于由于覆盖表面的整个扫描 区域时整个机器需要向后和向前移动,所以它们对于扫描复杂的形状相当慢。 另外,由于负责定位表面检测设备的元件的质量大而产生的强惯性力,机器的 ...
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