光学系统评价装置、光学系统评价方法及其程序的制作方法技术资料下载

技术编号:5838071

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本发明涉及根据经由评价对象光学系统成像的点像的成像位置对评 价对象光学系统的光学特性进行评价的光学系统评价装置、光学系统评 价方法以及光学系统评价程序。背景技术一般,在将使用光学系统拍摄的图像用于测长的情况下,在其光学 系统中需要高度的聚焦远心(Telecentricity)。所谓聚焦远心是指,物体 侧或像侧的主光线不管距光轴的距离怎样都处于和光轴平行的状态。例 如,在测长显微镜中,使用了物体侧远心光学系统。那时,即使被拍摄 的物体偏离对焦位置,对应于物体...
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