技术编号:5838278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种筛选化学传感器用半导体材料的方法以及确定半导体的导电性类型的方法。背景技术 长期以来,一直需要一种能检测ppm级到百分数含量水平的气体,诸如氮氧化物、烃类、一氧化碳和氧气等的化学传感器。这些传感器可用于许多领域,例如,汽车尾气的感知或有毒气氛的检测。Taguchi或半导体电阻型传感器被视为这些应用类型中最有希望的候选对象。特别有价值的是电阻随周围气体气氛的组成变化的半导体金属氧化物。迄今,只研究过数目非常有限的半导体组合物。因此,目前仍然需要...
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