技术编号:5839299
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属微机电系统,为一种新型的微机械陀螺。技术背景微机电系统(Microelectroraechanical System,简称MEMS)的独特优势使得它可广泛运 用于各种惯性器件中。对于陀螺,传统陀螺存在体积大、重量大等缺点,尤其是在航空航天 等领域需要小体积和重量的陀螺是一个趋势。微机电系统的出现使陀螺向体积小、重量轻方 向的发展成为可能。微机械陀螺的种类很多,按驱动方式可将微机械陀螺划分为静电驱动陀 螺、电磁驱动陀螺和压电驱动陀螺等。按检测方式可将...
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