红外线传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5840046

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本发明涉及一种红外线传感器,特别是涉及一种热电堆型的红外线传感器。背景技术 作为过去的热电堆型的红外线传感器,具有图7和图8所示那样的传感器。在图7中示出红外线传感器的热电堆型结构,为由邻接的多晶硅4和铝6形成热电偶的例子。图8所示红外线传感器公开于日本专利2663612号公报,由p型半导体106和n型半导体111构成的热电偶为形成于单臂梁103的例子。这些传感器根据利用塞贝克效应获得的由热电偶的热触点与冷触点的温差产生的电动势测定入射到红外线传感器的红外...
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