技术编号:5840106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氦质谱检漏仪的接收器。 背景技术氦质谱检漏仪的主要指标灵敏度,也称最小可检测漏率。其测量方法是用一氦气标准漏孔Q。,接在检漏仪上产生的信号强度S,假设测量系统的噪声N, 那么仪器的灵敏度Q-QoXN/S。 S/N称为信噪比。同样的漏孔产生的信号越强, 灵敏度就越高,而测量系统的噪声越大,灵敏度就越低。为此,提高仪器灵敏 度的方法就是增大信号强度和降低噪声。检漏仪中除了要检测的氦离子以外,通常有真空中残余气体碰撞产生的杂 散离子或电子进入接收器...
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