技术编号:5840231
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种按照权利要求1的前序部分所述的长度测量装置。 背景技术例如DE 29 29 989 A所述的,这样一种类型的长度测量机用于测量 长度以及行程,并且特别是在加工机器中用于测量刀具相对于待加工的 工件的相对运动,并且在坐标测量机中得到应用,并且也在半导体工业 中得到越来越多的应用。在这种情况中刻度尺用作尺度。为了防止外界环境的影响将刻度尺 设置在壳体中。在壳体内部温度的变化会根据刻度尺材料引起刻度尺的 长度的变化。这些长度的变化导致测量误差。为了...
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